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81

TÃTULO: Study of an argon magnetron discharge used for molybdenum sputtering. II: spectroscopic analysis and comparison with the model
AUTORES: Guimaraes, F; Almeida, JB; Bretagne, J;
PUBLICAÇÃO: 1993, FONTE: PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY, VOLUME: 2, NÚMERO: 3

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