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Theoretical Insight into Ar-O-2 Surface-Wave Microwave Discharges
AuthID
P-003-6SH
3
Author(s)
Kutasi, K
·
Guerra, V
·
Sa, P
Tipo de Documento
Article
Year published
2010
Publicado
in
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS,
ISSN: 0022-3727
Volume: 43, Número: 17, Páginas: 175201 (14)
Indexing
Wos
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Metadata
Fontes
Publication Identifiers
DOI
:
10.1088/0022-3727/43/17/175201
SCOPUS
: 2-s2.0-77951085387
Wos
: WOS:000276704200005
Source Identifiers
ISSN
: 0022-3727
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