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Tuneable Properties of Zirconium Oxynitride Thin Films
AuthID
P-013-3PF
6
Author(s)
Carvalho, P
·
Cunha, L
·
Pessoa Barradas, N
·
Alves, E
·
Pedro Espinós, J
·
Vaz, F
Tipo de Documento
Book Chapter
Year published
2013
Publicado
in
Metallic Oxynitride Thin Films by Reactive Sputtering and Related Deposition Methods: Process, Properties and Applications
Páginas: 64-112
Indexing
Crossref
®
1
Google Scholar
®
Metadata
Fontes
Publication Identifiers
DOI
:
10.2174/9781608051564113010008
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