Hot-Wire Chemical Vapour Deposition and Characterization of Silicon Nitride Membranes

AuthID
 P-016-KJ6
5
Author(s)
Alpuim, P.
·
Filonovich, Sergej
·
Viseu, T. M. R.
·
Lanceros-Méndez, S.
Tipo de Documento
Article
Year published
2007
Publicado
Indexing
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