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Nanostructure Characterization of High K Materials by Spectroscopic Ellipsometry
AuthID
P-004-GGN
4
Author(s)
Pereira, L
·
Aguas, H
·
Fortunato, E
·
Martins, R
Tipo de Documento
Article
Year published
2006
Publicado
in
APPLIED SURFACE SCIENCE,
ISSN: 0169-4332
Volume: 253, Número: 1, Páginas: 339-343 (5)
Conference
Symposium P of the Spring Meeting of the European-Materials-Research-Society Entitled Curent Trends in Optical and X-Ray Meterology of Advanced Materials for Nanoscale Devices,
Date:
MAY 31-JUN 03, 2005,
Location:
Strasbourg, FRANCE
Indexing
Wos
®
Scopus
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Crossref
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Metadata
Fontes
Publication Identifiers
DOI
:
10.1016/j.apsusc.2006.06.007
SCOPUS
: 2-s2.0-33750516728
Wos
: WOS:000242317500064
Source Identifiers
ISSN
: 0169-4332
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