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Effect of Nitrogen Gas Flow on Amorphous Si-C-N Films Produced by Pvd Techniques
AuthID
P-000-FFN
7
Author(s)
Moura, C
·
Cunha, L
·
Orfao, H
·
Pischow, K
·
De Rijk, J
·
Rybinski, M
·
Mrzyk, D
Tipo de Documento
Article
Year published
2003
Publicado
in
SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY,
ISSN: 0257-8972
Volume: 174, Páginas: 324-330 (7)
Conference
8Th International Conference on Plasma Surface Engineering,
Date:
SEP 09-13, 2002,
Location:
GARMISCH PARTENKI, GERMANY
Indexing
Wos
®
Scopus
®
Crossref
®
Google Scholar
®
Metadata
Fontes
Publication Identifiers
DOI
:
10.1016/s0257-8972(03)00686-8
SCOPUS
: 2-s2.0-0042357263
Wos
: WOS:000185680300056
Source Identifiers
ISSN
: 0257-8972
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