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Electrostatic Actuation of Thin-Film Microelectromechanical Structures
AuthID
P-000-G99
3
Author(s)
Gaspar, J
·
Chu, V
·
Conde, JP
Tipo de Documento
Article
Year published
2003
Publicado
in
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS,
ISSN: 0021-8979
Volume: 93, Número: 12, Páginas: 10018-10029 (12)
Indexing
Wos
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Metadata
Fontes
Publication Identifiers
DOI
:
10.1063/1.1573344
SCOPUS
: 2-s2.0-0038803803
Wos
: WOS:000183288900094
Source Identifiers
ISSN
: 0021-8979
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