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Improving Capacitance/Damping Ratio in a Capacitive Mems Transducer
AuthID
P-006-HZQ
2
Author(s)
Dias, RA
·
Rocha, LA
Tipo de Documento
Article
Year published
2014
Publicado
in
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING,
ISSN: 0960-1317
Volume: 24, Número: 1, Páginas: 015008 (15)
Indexing
Wos
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Metadata
Fontes
Publication Identifiers
DOI
:
10.1088/0960-1317/24/1/015008
SCOPUS
: 2-s2.0-84891123961
Wos
: WOS:000328813900010
Source Identifiers
ISSN
: 0960-1317
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