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Low Temperature Thin-Film Microelectromechanical Devices on Plastic Substrates
AuthID
P-007-99F
5
Author(s)
Boucinha, M
·
Brogueira, P
·
Chu, V
·
Alpuim, P
·
Conde, JP
5
Editor(es)
Collins,RW;Branz,HM;Stutzmann,M;Guha,S;Okamoto,H
Tipo de Documento
Proceedings Paper
Year published
2000
Publicado
in
Materials Research Society Symposium - Proceedings,
ISSN: 0272-9172
Volume: 609, Páginas: A2121-A2126
Conference
Amorphous and Heterogeneus Silicon Thin Films-2000,
Date:
24 April 2000 through 28 April 2000,
Location:
San Francisco, CA
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Crossref
®
1
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Metadata
Fontes
Publication Identifiers
DOI
:
10.1557/proc-609-a21.2
SCOPUS
: 2-s2.0-0034429798
Source Identifiers
ISSN
: 0272-9172
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