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Thin Films' Residual Stress Measurement by Optical Profilometry
AuthID
P-000-WPR
1
Author(s)
Costa, MFM
3
Editor(es)
Asundi, AK; Osten, W; Varadan, VK
Tipo de Documento
Proceedings Paper
Year published
2001
Publicado
in
ADVANCED PHOTONIC SENSORS AND APPLICATIONS II
in
PROCEEDINGS OF THE SOCIETY OF PHOTO-OPTICAL INSTRUMENTATION ENGINEERS (SPIE),
ISSN: 0277-786X
Volume: 4596, Páginas: 1-8 (8)
Conference
Advanced Photonic Sensors and Applications Ii Conference,
Date:
NOV 27-30, 2001,
Location:
SINGAPORE, SINGAPORE,
Patrocinadores:
SPIE, Nanyang Tech Univ
Indexing
Wos
®
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Metadata
Fontes
Publication Identifiers
DOI
:
10.1117/12.447335
SCOPUS
: 2-s2.0-0035771071
Wos
: WOS:000174470600001
Source Identifiers
ISSN
: 0277-786X
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