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Amorphous Silicon Air-Gap Resonators on Large-Area Substrates
AuthID
P-000-Z96
4
Author(s)
Boucinha, M
·
Brogueira, P
·
Chu, V
·
Conde, JP
Tipo de Documento
Article
Year published
2000
Publicado
in
APPLIED PHYSICS LETTERS,
ISSN: 0003-6951
Volume: 77, Número: 6, Páginas: 907-909 (3)
Indexing
Wos
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Scopus
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Crossref
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Metadata
Fontes
Publication Identifiers
DOI
:
10.1063/1.1306912
SCOPUS
: 2-s2.0-0000459446
Wos
: WOS:000088787300048
Source Identifiers
ISSN
: 0003-6951
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