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Characterization of Ruo2 Films Prepared by Rf Reactive Magnetron Sputtering
AuthID
P-001-4C3
2
Author(s)
Meng, LJ
·
dos Santos, MP
Tipo de Documento
Article
Year published
1999
Publicado
in
APPLIED SURFACE SCIENCE,
ISSN: 0169-4332
Volume: 147, Número: 1-4, Páginas: 94-100 (7)
Indexing
Wos
®
Scopus
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Metadata
Fontes
Publication Identifiers
DOI
:
10.1016/s0169-4332(99)00089-6
SCOPUS
: 2-s2.0-0032626189
Wos
: WOS:000080821900014
Source Identifiers
ISSN
: 0169-4332
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