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Patterned Surfaces in P-Type Silicon by Photodefined Etching
AuthID
P-001-5C6
5
Author(s)
Martins, MC
·
Gamboa, RM
·
Alves, JM
·
Serra, JM
·
Vallera, AM
Tipo de Documento
Article
Year published
1999
Publicado
in
APPLIED SURFACE SCIENCE,
ISSN: 0169-4332
Volume: 138, Número: 1-4, Páginas: 330-334 (5)
Conference
Symposium on Surface Processing - Laser, Lamp, Plasma, at the Annual Spring Meeting of the European-Materials-Society (E-Mrs 96),
Date:
JUN 16-19, 1996-1998,
Location:
STRASBOURG, FRANCE,
Patrocinadores:
European Mat Soc
Indexing
Wos
®
Scopus
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Crossref
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Metadata
Fontes
Publication Identifiers
DOI
:
10.1016/s0169-4332(98)00574-1
SCOPUS
: 2-s2.0-0345921697
Wos
: WOS:000078576400064
Source Identifiers
ISSN
: 0169-4332
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