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Epitaxial Regrowth of C- and N-Implanted Silicon and Alpha-Quartz
AuthID
P-001-8DV
5
Author(s)
Harbsmeier, F
·
Bolse, W
·
da Silva, MR
·
da Silva, MF
·
Soares, JC
Tipo de Documento
Article
Year published
1998
Publicado
in
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS,
ISSN: 0168-583X
Volume: 136, Páginas: 263-267 (5)
Conference
13Th International Conference on Ion Beam Analysis (Iba-13),
Date:
JUL 27-AUG 01, 1997,
Location:
LISBON, PORTUGAL
Indexing
Wos
®
Scopus
®
Crossref
®
Google Scholar
®
Metadata
Fontes
Publication Identifiers
DOI
:
10.1016/s0168-583x(97)00871-9
SCOPUS
: 2-s2.0-0032020870
Wos
: WOS:000074380400045
Source Identifiers
ISSN
: 0168-583X
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