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Energy Deposition and Substrate Heating During Magnetron Sputtering
AuthID
P-001-MVH
3
Author(s)
ANDRITSCHKY, M
·
GUIMARAES, F
·
TEIXEIRA, V
Tipo de Documento
Article
Year published
1993
Publicado
in
VACUUM,
ISSN: 0042-207X
Volume: 44, Número: 8, Páginas: 809-813 (5)
Indexing
Wos
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Metadata
Fontes
Publication Identifiers
DOI
:
10.1016/0042-207x(93)90312-x
SCOPUS
: 2-s2.0-0027640570
Wos
: WOS:A1993LJ32900007
Source Identifiers
ISSN
: 0042-207X
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