Plasma Diagnostics of a Pecvd System Using Different R.f. Electrode Configurations

AuthID
 P-00H-FBV
3
Author(s)
Tipo de Documento
Article
Year published
2000
Publicado
in Vacuum, ISSN: 0042-207X
Volume: 56, Número: 1, Páginas: 31-37
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ISSN: 0042-207X
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