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Current–Pressure–Voltage Characteristics in a Planar Magnetron Discharge
AuthID
P-00H-WX1
5
Author(s)
Escrivão, ML
·
Pereira, PJS
·
Cabral, MH
·
Teixeira, MR
·
Maneira, MJP
Tipo de Documento
Article
Year published
2003
Publicado
in
Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films - J. Vac. Sci. Technol. A,
ISSN: 0734-2101
Volume: 21, Número: 2, Páginas: 375
Indexing
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Metadata
Fontes
Publication Identifiers
DOI
:
10.1116/1.1539083
Source Identifiers
ISSN
: 0734-2101
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