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Energy Deposition and Substrate Heating During Magnetron Sputtering
AuthID
P-00J-CH9
3
Author(s)
Andritschky, M
·
Guimarães, F
·
Teixeira, V
Tipo de Documento
Article
Year published
1993
Publicado
in
Vacuum,
ISSN: 0042-207X
Volume: 44, Número: 8, Páginas: 809-813
Indexing
Crossref
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Metadata
Fontes
Publication Identifiers
DOI
:
10.1016/0042-207x(93)90312-x
Source Identifiers
ISSN
: 0042-207X
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