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Fluid Modelling of Capacitively Coupled Radio-Frequency Discharges: a Review
AuthID
P-002-2RS
2
Author(s)
Alves, LL
·
Marques, L
Tipo de Documento
Article
Year published
2012
Publicado
in
PLASMA PHYSICS AND CONTROLLED FUSION,
ISSN: 0741-3335
Volume: 54, Número: 12, Páginas: 124012 (8)
Indexing
Wos
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Metadata
Fontes
Publication Identifiers
DOI
:
10.1088/0741-3335/54/12/124012
SCOPUS
: 2-s2.0-84870231210
Wos
: WOS:000312579500015
Source Identifiers
ISSN
: 0741-3335
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