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Optimisation of the New Time-Modulated Cvd Process Using the Taguchi Method
AuthID
P-000-79M
9
Author(s)
Ali, N
·
Neto, F
·
Mei, S
·
Cabral, G
·
Kousar, Y
·
Titus, E
·
Ogwu, AA
·
Misra, DS
·
Gracio, J
Tipo de Documento
Article
Year published
2004
Publicado
in
THIN SOLID FILMS,
ISSN: 0040-6090
Volume: 469, Número: SPEC. ISS., Páginas: 154-160 (7)
Conference
31St International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films,
Date:
APR 19-23, 2004,
Location:
San Diego, CA,
Patrocinadores:
AVS Sci & Technol Soc, Adv Surface Engn Div
Indexing
Wos
®
Scopus
®
Crossref
®
25
Google Scholar
®
Metadata
Fontes
Publication Identifiers
DOI
:
10.1016/j.tsf.2004.08.074
SCOPUS
: 2-s2.0-10044266468
Wos
: WOS:000225724300028
Source Identifiers
ISSN
: 0040-6090
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