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Computer-Aided Development of a Magnetron Source with High Target Utilization
AuthID
P-002-V8Q
4
Author(s)
Fan, QH
·
Galipeau, D
·
Zhou, LQ
·
Gracio, JJ
Tipo de Documento
Article
Year published
2011
Publicado
in
VACUUM,
ISSN: 0042-207X
Volume: 85, Número: 8, Páginas: 833-838 (6)
Indexing
Wos
®
Scopus
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Crossref
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Metadata
Fontes
Publication Identifiers
DOI
:
10.1016/j.vacuum.2010.12.007
SCOPUS
: 2-s2.0-79951677102
Wos
: WOS:000288478000010
Source Identifiers
ISSN
: 0042-207X
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