Martin Andritschky


AuthID: R-000-D47

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TÍTULO: Origin of gas impurities in sputtering plasmas during thin film deposition  Full Text
AUTORES: Andritschky, M;
PUBLICAÇÃO: 1991, FONTE: Vacuum, VOLUME: 42, NÚMERO: 12
INDEXADO EM: CrossRef
NO MEU: ORCID
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