W. Schwarzenbach
AuthID: R-00G-4KB
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TÃTULO: Particle agglomeration study in rf silane plasmas: In situ study by polarization-sensitive laser light scattering Full Text
AUTORES: Courteille, C; Hollenstein, C; Dorier, JL; Gay, P; Schwarzenbach, W; Howling, AA; Bertran, E; Viera, G; Martins, R ; Macarico, A;
PUBLICAÇÃO: 1996, FONTE: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, VOLUME: 80, NÚMERO: 4
AUTORES: Courteille, C; Hollenstein, C; Dorier, JL; Gay, P; Schwarzenbach, W; Howling, AA; Bertran, E; Viera, G; Martins, R ; Macarico, A;
PUBLICAÇÃO: 1996, FONTE: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, VOLUME: 80, NÚMERO: 4
