L. Boufendi
AuthID: R-00G-5WJ
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TÃTULO: Capacitively coupled radio-frequency discharges in nitrogen at low pressures Full Text
AUTORES: Alves, LL ; Marques, L ; Pintassilgo, CD ; Wattieaux, G; Et Es sebbar; Berndt, J; Kovacevic, E; Carrasco, N; Boufendi, L; Cernogora, G;
PUBLICAÇÃO: 2012, FONTE: PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY, VOLUME: 21, NÚMERO: 4
AUTORES: Alves, LL ; Marques, L ; Pintassilgo, CD ; Wattieaux, G; Et Es sebbar; Berndt, J; Kovacevic, E; Carrasco, N; Boufendi, L; Cernogora, G;
PUBLICAÇÃO: 2012, FONTE: PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY, VOLUME: 21, NÚMERO: 4
