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Capacitively Coupled Radio-Frequency Hydrogen Discharges: The Role of Kinetics
AuthID
P-004-7H6
3
Author(s)
Marques, L
·
Jolly, J
·
Alves, LL
Tipo de Documento
Review
Year published
2007
Publicado
in
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS,
ISSN: 0021-8979
Volume: 102, Número: 6, Páginas: 063305 (14)
Indexing
Wos
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Metadata
Fontes
Publication Identifiers
DOI
:
10.1063/1.2779268
SCOPUS
: 2-s2.0-34848854793
Wos
: WOS:000249787200016
Source Identifiers
ISSN
: 0021-8979
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