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Breakdown in Planar Magnetron Discharges of Argon on Copper
AuthID
P-004-84X
5
Author(s)
Nunes, Y
·
Wemans, A
·
Gordo, PR
·
Teixeira, MR
·
Maneira, MJP
Tipo de Documento
Article
Year published
2007
Publicado
in
VACUUM,
ISSN: 0042-207X
Volume: 81, Número: 11-12, Páginas: 1511-1514 (4)
Conference
6Th Iberian Vacuum Meeting/4Th European Topical Conference on Hard Coating,
Date:
JUN 26-28, 2006,
Location:
Salamanca, SPAIN,
Patrocinadores:
Spanish & Portuguese Vacuum Soc
Indexing
Wos
®
Scopus
®
Crossref
®
5
Google Scholar
®
Metadata
Fontes
Publication Identifiers
DOI
:
10.1016/j.vacuum.2007.04.026
SCOPUS
: 2-s2.0-34547881491
Wos
: WOS:000249849800024
Source Identifiers
ISSN
: 0042-207X
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