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Sub-Micron Structuring of Silicon Using Femtosecond Laser Interferometry
AuthID
P-006-656
6
Author(s)
Oliveira, V
·
Vilar, R
·
Serra, R
·
Oliveira, JC
·
Polushkin, NI
·
Conde, O
Tipo de Documento
Article
Year published
2013
Publicado
in
OPTICS AND LASER TECHNOLOGY,
ISSN: 0030-3992
Volume: 54, Páginas: 428-431 (4)
Indexing
Wos
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Scopus
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Crossref
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Metadata
Fontes
Publication Identifiers
DOI
:
10.1016/j.optlastec.2013.06.031
SCOPUS
: 2-s2.0-84880882551
Wos
: WOS:000323992900064
Source Identifiers
ISSN
: 0030-3992
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