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Gas Viscosity Sensing Based on the Electrostatic Pull-In Time of Microactuators
AuthID
P-009-PHR
4
Author(s)
Dias, RA
·
de Graaf, G
·
Wolffenbuttel, RF
·
Rocha, LA
Tipo de Documento
Article
Year published
2014
Publicado
in
SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL,
ISSN: 0924-4247
Volume: 216, Páginas: 376-385 (10)
Indexing
Wos
®
Scopus
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Crossref
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Metadata
Fontes
Publication Identifiers
DOI
:
10.1016/j.sna.2014.05.004
SCOPUS
: 2-s2.0-84904704768
Wos
: WOS:000340012700050
Source Identifiers
ISSN
: 0924-4247
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