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Structural Characterization of Dual Ion Implantation in Silicon
AuthID
P-00J-Z7T
5
Author(s)
Nunes, B
·
Franco, N
·
Botelho do Rego, AMB
·
Alves, E
·
Colaco, R
Tipo de Documento
Article
Year published
2015
Publicado
in
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS,
ISSN: 0168-583X
Volume: 365, Páginas: 39-43 (5)
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Wos
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Metadata
Fontes
Publication Identifiers
DOI
:
10.1016/j.nimb.2015.08.006
SCOPUS
: 2-s2.0-84948576132
Wos
: WOS:000366786900010
Source Identifiers
ISSN
: 0168-583X
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