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Current-Pressure Characteristics of Planar Magnetron Discharges in Rare Gases
AuthID
P-000-7Z1
5
Author(s)
Escrivao, ML
·
Pereira, PJS
·
Cabral, MH
·
Teixeira, MR
·
Maneira, MJP
Tipo de Documento
Article
Year published
2004
Publicado
in
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A,
ISSN: 0734-2101
Volume: 22, Número: 6, Páginas: 2361-2364 (4)
Indexing
Wos
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Metadata
Fontes
Publication Identifiers
DOI
:
10.1116/1.1804982
SCOPUS
: 2-s2.0-10244226725
Wos
: WOS:000225505900025
Source Identifiers
ISSN
: 0734-2101
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