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TÍTULO: Modelling of Magnetron Sputtering of Tungsten Oxide with Reactive Gas Pulsing  Full Text
AUTORES: Tomas Kubart; Tomas Polcar; Oliver Kappertz; Nuno Parreira; Tomas Nyberg; Soren Berg; Albano Cavaleiro ;
PUBLICAÇÃO: 2007, FONTE: PLASMA PROCESSES AND POLYMERS, VOLUME: 4, NÚMERO: SUPPL.1
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