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TÍTULO: Coaxial microwave excitation device for magnetron sputtered vapor ionization
AUTORES: Boisse Laporte, C; Leroy, O; de Poucques, L; Teule Gay, L; Hagelaar, JHA; Kouassi, N; Pagnon, D; Gousset, G; Alves, L; Leprince, P; Bretagne, J; Touzeau, M;
PUBLICAÇÃO: 2002, FONTE: VIDE-SCIENCE TECHNIQUE ET APPLICATIONS, VOLUME: 57, NÚMERO: 304
INDEXADO EM: WOS